微細(xì)加工技術(shù)是精密加工技術(shù)的一個(gè)分支，面向微細(xì)加工的電加工技術(shù),激光微孔加工、水射流微細(xì)切割技術(shù)等等在發(fā)展國民經(jīng)濟(jì)，振興我國國防事業(yè)等發(fā)面都有非常重要的意義，這一領(lǐng)域的發(fā)展對(duì)未來的國民經(jīng)濟(jì)、科學(xué)技術(shù)等將產(chǎn)生巨大影響，先進(jìn)國家紛紛將之列為未來關(guān)鍵技術(shù)之一并擴(kuò)大投資和加強(qiáng)基礎(chǔ)研究與開發(fā)。所以我們有理由有必要加快這一領(lǐng)域的發(fā)展和開發(fā)進(jìn)程。
微細(xì)加工技術(shù)的概念和特點(diǎn)：
微細(xì)加工技術(shù)是指加工微小尺寸零件的生產(chǎn)加工技術(shù)。從廣義的角度來講，微細(xì)加工包括各種傳統(tǒng)精密加工方法和與傳統(tǒng)精密加工方法完全不同的方法，如切削技術(shù)，磨料加工技術(shù)，電火花加工，電解加工，化學(xué)加工，超聲波加工，微波加工，等離子體加工，外延生產(chǎn)，激光加工，電子束加工，粒子束加工，光刻加工，電鑄加工等。從狹義的角度來講，微細(xì)加工主要是指半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)，因?yàn)槲⒓?xì)加工和超微細(xì)加工是在半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展的，特門市大規(guī)模集成電路和計(jì)算機(jī)技術(shù)的技術(shù)基礎(chǔ)，是信息時(shí)代微電子時(shí)代，光電子時(shí)代的關(guān)鍵技術(shù)之一。
微小尺寸和一般尺寸加工是不同的，其不同點(diǎn)主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：
1．    精度的表示方法
在微小尺寸加工時(shí)，由于加工尺寸很小，精度就必須用尺寸的絕對(duì)值來表示，即用取出的一塊材料的大小來表示，從而引入加工單位尺寸的概念。
2．    微觀機(jī)理
以切削加工為例，從工件的角度來講，一般加工和微細(xì)加工的最大區(qū)別是切屑的大小。一般為金屬材料是由微細(xì)的晶粒組成，晶粒直徑為數(shù)微米到數(shù)百微米。一般加工時(shí),吃刀量較大，可以忽略晶粒的大小，而作為一個(gè)連續(xù)體來看待，因此可見一般加工和微細(xì)加工的機(jī)理是不同的。
3．加工特征
微細(xì)加工和超微細(xì)加工以分離或結(jié)合原子、分子為加工對(duì)象，以電子束、技工束、粒子束為加工基礎(chǔ)，采用沉積、刻蝕、濺射、蒸鍍等手段進(jìn)行各種處理。
微細(xì)加工和超精密加工在國外的發(fā)展情況：
在超精密加工技術(shù)領(lǐng)域起步最早和技術(shù)領(lǐng)先的國家是美國，其次是日本和歐洲的一些國家。美國超精密加工技術(shù)的發(fā)展得到了政府和軍方的財(cái)政支持，近年，美國執(zhí)行了"微米和納米級(jí)技術(shù)"國家關(guān)鍵技術(shù)計(jì)劃，國防部陸、海、空三軍組成了特別委員會(huì)，統(tǒng)一協(xié)調(diào)研究工作。美國至少有30多個(gè)廠家和研究單位研制和生產(chǎn)各種超精密加工機(jī)床，國家勞倫斯.利佛摩爾實(shí)驗(yàn)室、聯(lián)合碳化物公司、摩爾公司、杜邦公司等在國際上均久負(fù)盛名。美國最早研制了能加工硬脆材料的6軸數(shù)控超精密研磨拋光機(jī)；聯(lián)合碳化物公司開發(fā)了直徑為800mm的非球面光學(xué)零件的超精密加工機(jī)床；勞倫斯.利佛摩爾實(shí)驗(yàn)室還開發(fā)了能加工陶瓷、硬質(zhì)合金、玻璃和塑料等難加工材料的超精密切削機(jī)床，在半導(dǎo)體工業(yè)、航空工業(yè)和醫(yī)療器械工業(yè)中投入使用；珀金-埃爾默等公司用超精密加工技術(shù)加工各種軍用紅外零部件。
　日本對(duì)超精密技術(shù)的發(fā)展也十分重視，70年代初，日本成立了超精密加工技術(shù)委員會(huì)，制定了技術(shù)發(fā)展規(guī)劃，成為此項(xiàng)技術(shù)發(fā)展速度最快的國家。日本現(xiàn)有20多家超精密加工機(jī)床研制公司，重點(diǎn)開發(fā)民用產(chǎn)品所需的加工設(shè)備并力圖使設(shè)備系列化，成批生產(chǎn)了多品種商品化的超精密加工機(jī)床。在超精密切削技術(shù)發(fā)展比較成熟后，日本已將黑色金屬、陶瓷和半導(dǎo)體功能材料的超精密加工技術(shù)作為重要的研究開發(fā)項(xiàng)目。日本的研究創(chuàng)新意識(shí)強(qiáng)，不是單純地模仿國外的做法，而是積極地利用外國技術(shù)并結(jié)合本國特點(diǎn)和生存環(huán)境，走出了一條自己的發(fā)展道路。
　歐洲等國也將超精密加工技術(shù)的發(fā)展放在重要位置，60年代起英國開始研究超精密加工技術(shù)，克蘭菲爾德大學(xué)精密工程研究所相繼研制出能加工大型非球面反射鏡的數(shù)控金剛石立式車床、加工大型非對(duì)稱結(jié)構(gòu)光學(xué)零件的數(shù)控超精密磨床、研制了脆性材料的超精密磨削工藝�，F(xiàn)已成立了國家納米技術(shù)戰(zhàn)略委員會(huì)，正在執(zhí)行國家納米技術(shù)研究計(jì)劃。德國和瑞士也有比較強(qiáng)的超精密加工能力。1992年后，歐洲實(shí)施了一系列的聯(lián)合研究與發(fā)展計(jì)劃，加強(qiáng)和推動(dòng)超精密加工技術(shù)的發(fā)展。超精密車削、磨削和研磨是已經(jīng)發(fā)展成熟并大量應(yīng)用的加工技術(shù)。日本開發(fā)了外圓和平面等多種類型的研磨機(jī)，美國也研制成功了加工陀螺零件的球形研磨機(jī)。另外，國外還大力發(fā)展了超精密拋光技術(shù)，以獲得高的表面質(zhì)量。美、日、英等國投入了大量資金和人力開發(fā)了離子束拋光工藝，以加工高精度的光學(xué)器件。美國還研制了邊拋光邊測(cè)量的離子束拋光機(jī)，拋光非球面鏡的精度達(dá)λ/50。納米級(jí)制造技術(shù)是超精密加工技術(shù)的頂峰，其研究需要有雄厚的技術(shù)基礎(chǔ)和豐厚的物質(zhì)條件，美國、日本和英國正在進(jìn)行一些研究項(xiàng)目，包括聚焦電子束曝光、準(zhǔn)分子激光蝕刻和掃描隧道顯微鏡納米加工技術(shù)等。聚焦電子束曝光可通過計(jì)算機(jī)控制繪制出任意形狀的圖形，而且不損傷材料。準(zhǔn)分子激光束通過與被加工材料表面起直接反應(yīng)進(jìn)行蝕刻，沒有對(duì)加工部位的照射損傷和放電破壞，可達(dá)到納米級(jí)的蝕刻精度。掃描隧道顯微鏡技術(shù)是利用掃描隧道顯微鏡探針的尖端俘獲單個(gè)原子或單個(gè)分子，并向被加工表面?zhèn)鬏�，或者從被加工表面剝離單個(gè)或成團(tuán)的原子和分子，從而形成所需的納米級(jí)結(jié)構(gòu)。美國和日本都已掌握了此項(xiàng)技術(shù)，在金屬晶體或非金屬晶體表面制造出了單個(gè)原子寬的線條和圖形。該技術(shù)的顯著優(yōu)點(diǎn)是可適應(yīng)多種加工環(huán)境，在高真空中、空氣中、金屬有機(jī)物氣體中或溶液中都能在硅、砷化鎵等電子材料、石英、陶瓷、金屬和非金屬材料上加工出納米級(jí)的線條和圖形，為航空微電子元器件和微機(jī)電系統(tǒng)的發(fā)展提供了技術(shù)支持。最早開發(fā)的復(fù)合超精密加工技術(shù)是超精密振動(dòng)金剛石刀具切削工藝，美國宇航動(dòng)力集團(tuán)采用該工藝加工了激光陀螺玻璃腔體，日本加工了平面和圓度達(dá)0.1μm的柱形零件。近年來，復(fù)合超精密加工技術(shù)更有了長足發(fā)展，日本理化研究所開發(fā)的在線電解修整復(fù)合磨削技術(shù)，能高效磨削球面、非球面和平面透鏡等高硬度和高脆性電子和光學(xué)材料的功能零件，以及塑性金屬零件，尺寸和形狀精度達(dá)亞微米，表面粗糙度達(dá)納米級(jí)。如：采用該技術(shù)加工鍍膜SiC材料的球面、非球面和平面透鏡等光學(xué)零件，直徑100mm、曲率半徑2000mm的球面透鏡磨削后的形狀精度為0.2μm，表面粗糙度值為Ra0.0076μm；200mm×200 mm的平面透鏡磨削后，在Φ150mm范圍內(nèi)測(cè)量的平面度為0.6μm，表面粗糙度值為Ra0.006μm。等離子化學(xué)氣化加工和流體拋光技術(shù)也是目前國外開發(fā)的比較實(shí)用的加工技術(shù)，主要針對(duì)電子和光電等功能材料零件的超精密加工，可加工出任意形狀的零件。目前，采用等離子化學(xué)氣化加工技術(shù)已制成了納米級(jí)精度和表面無缺陷的非球面透鏡，加工效率接近于機(jī)械加工的水平。采用流體拋光技術(shù)可獲得深度均勻的矩形窄縫、有拋物線形相交截面的半圓柱體。超精密加工技術(shù)在發(fā)達(dá)國家已有近40年的發(fā)展歷史，其生命力不僅在于包括航空技術(shù)在內(nèi)的高科技發(fā)展對(duì)它的需求，而且在于它綜合利用了高科技進(jìn)步的成果，更重要的是在利用這些成果的基礎(chǔ)上有所創(chuàng)新，將其以新穎的構(gòu)思巧妙地加以重組不斷獲得新的設(shè)備和工藝技術(shù)，模塊式超精密加工機(jī)床的誕生和復(fù)合超精密加工技術(shù)的出現(xiàn)就是很好的例證。
微細(xì)加工技術(shù)在國內(nèi)的成熟工藝及其產(chǎn)品：
中藥精細(xì)加工（氣流粉碎技術(shù)）
氣流粉碎是高速碰撞與密閉粉碎，物料間彼此碰撞的概率大，粉塵也無泄漏。粉碎是中藥材加工和中藥制劑生產(chǎn)工藝中的重要環(huán)節(jié)。中藥自古就有"水飛"、"挫"、"搗"等精細(xì)加工方法，其主要應(yīng)用對(duì)象是礦物藥、貴重藥和具有特殊性質(zhì)的中藥，但處理量極少。我國現(xiàn)有中藥加工傳統(tǒng)工藝采用錘擊式、球磨式、萬能磨粉式、流能式截切式、滾筒式多種粉碎機(jī)械，由于粉碎方式不同，對(duì)于粉未的粒度、出粉率、以及有效成分的保存等方面都有一定局限，且采用非密閉制粉，造成粉塵泄漏大，收粉率不高，對(duì)于具有特殊性質(zhì)的物料如熱敏性、低融點(diǎn)、成分易破壞藥材的處理，以及提高收粉率方面仍未得到根本的解決。氣流粉碎機(jī)的發(fā)展為中藥的精細(xì)加工提供了可靠的保證。最新一代的CF系列流化床式氣流粉碎機(jī)是在消化吸收國內(nèi)外同類設(shè)備的技術(shù)的基礎(chǔ)上產(chǎn)生的，集世界上先進(jìn)的多噴管技術(shù)、流化床技術(shù)、臥式分級(jí)技術(shù)于一身，實(shí)現(xiàn)了流場(chǎng)多元化、料層液態(tài)化與分級(jí)臥式化的優(yōu)化體系，體現(xiàn)了氣動(dòng)技術(shù)應(yīng)用于超細(xì)粉碎和分級(jí)工藝中的最新成果(7)。為該技術(shù)應(yīng)用于中藥的精細(xì)加工提供了技術(shù)保證。
激光微細(xì)加工系統(tǒng)
激光微細(xì)加工系統(tǒng)可對(duì)塑料、玻璃、陶瓷及金屬薄膜等多種材料進(jìn)行加工，精度可以做到微
米級(jí)。其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體及微電子加工、生物醫(yī)療器械生產(chǎn)、計(jì)算機(jī)制造業(yè)、MEMS、MST、電
子通訊等各個(gè)領(lǐng)域。系統(tǒng)組成包括有：激光器、光路系統(tǒng)、調(diào)節(jié)平臺(tái)、控制器，能滿足您不同的加工要求。同時(shí)為您提供從紫外到紅外(Excimer、Solid state、CO2)廣泛光譜范圍內(nèi)的激光材料處理技術(shù)。
飛秒激光超微細(xì)加工 (femtosecond laser micro machining)

飛秒激光用于超微細(xì)加工是飛秒激光用于超快現(xiàn)象研究和超強(qiáng)現(xiàn)象研究之外的又一個(gè)飛秒
激光技術(shù)的重要的應(yīng)用研究領(lǐng)域。與飛秒超快和飛秒超強(qiáng)研究有所不同的是飛秒激光超微細(xì)加
工與先進(jìn)的制造技術(shù)緊密相關(guān)，對(duì)某些關(guān)鍵工業(yè)生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展可以起到更直接的推動(dòng)作用。飛秒激光超微細(xì)加工是當(dāng)今世界激光、光電子行業(yè)中的一個(gè)極為引人注目的前沿研究方向。用激光超短脈沖進(jìn)行材料處理（或加工）不僅可以改進(jìn)現(xiàn)有激光材料微加工的不足之處，而且還可以完成傳統(tǒng)激光加工無法做到的事情。飛秒激光能夠具備極高的三維光子密度，對(duì)種材料實(shí)現(xiàn)逐層、微量加工；飛秒激光加工的熱影響區(qū)域(Heat affected zone)極小，并且不存在長脈沖激光或連續(xù)激光加工中的等離子體屏蔽效應(yīng)，這就使得其能量利用效率和加工精度都非常之高。當(dāng)用飛秒激光加工透明介質(zhì)材料時(shí)，加工過程不受材料本身的線性吸收系數(shù)的影響，同時(shí)，對(duì)材料表面或內(nèi)部的缺陷不敏感。此外，從光和物質(zhì)相互作用的角度來看，飛秒激光加工涉及的主要是多光子電離的過程，在機(jī)理上不同于傳統(tǒng)激光加工。因此，飛秒激光進(jìn)行微加工有固定的加工閾值，加工和不加工有著明顯的區(qū)分，因此加工過程重復(fù)性好�？梢灶A(yù)計(jì)飛秒激光超微細(xì)加工技術(shù)在微電子、生物芯片和新型材料等科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域中都將有廣泛應(yīng)用。飛秒激光超微細(xì)加工中的“加工”二字具有廣義性。它可以是對(duì)物質(zhì)在原子、分子水平上的操縱(manipulation)，或者是對(duì)物質(zhì)在微小區(qū)域內(nèi)某些重要屬性的改變與處理(processing)，而并非只是通常人們所理解的“機(jī)械加工”。飛秒激光超微細(xì)加工不僅具有通�；�礎(chǔ)應(yīng)用研究的特征，而且涉及到激光物理、原子分子物理、激光束光學(xué)、材料科學(xué)、熱動(dòng)力學(xué)、等離子體物理、流體氣體力學(xué)等廣泛知識(shí)，屬于跨學(xué)科的研究。飛秒激光超微細(xì)加工往往是在極小的空間、極短的時(shí)間和極端的物理?xiàng)l件下對(duì)物質(zhì)進(jìn)行加工的。可以說，超微”與“超快”的組合是飛秒激光超微細(xì)加工的獨(dú)特之處。一定強(qiáng)度的飛秒激光可以用于對(duì)任何材料的精細(xì)加工，從金剛石到生物透析膜，從烈性炸藥到MEMs器件等都有實(shí)驗(yàn)結(jié)果報(bào)道
“龍芯2號(hào)”

“龍芯2號(hào)”是國家“863”計(jì)劃和中國科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程共同支持的重大項(xiàng)目，其目
標(biāo)是在2004年中期，用0.18微米的工藝，實(shí)現(xiàn)主頻500MHz、SPEC CPU 2000測(cè)試分值超過300的
64位通用CPU芯片。SPEC分值的指標(biāo)意味著這款芯片的實(shí)際性能與1GHz的奔騰4差不多，是龍芯1號(hào)實(shí)測(cè)性能的10-15倍。為了達(dá)到這個(gè)目標(biāo)，龍芯2號(hào)采用了先進(jìn)的四發(fā)射超標(biāo)量體系結(jié)構(gòu)(即每個(gè)時(shí)鐘周期可以同時(shí)執(zhí)行4條指令)、5個(gè)強(qiáng)大的功能部件、亂序執(zhí)行機(jī)制、動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)訪問機(jī)制及更大的片上高速緩存。在具體實(shí)現(xiàn)方面，龍芯2號(hào)逐步采用全定制的設(shè)計(jì)技術(shù)，并通過多次流片，不斷驗(yàn)證新的功能，不斷提高時(shí)鐘頻率和實(shí)際性能。
基因芯片技術(shù)
基因芯片技術(shù)是近年來快速發(fā)展的高技術(shù)領(lǐng)域前沿?zé)衢T課題。國內(nèi)急需且市場(chǎng)前景看好的生物芯片制作和生物芯片檢測(cè)關(guān)鍵儀器有——激光共聚焦生物芯片掃描儀和CCD生物芯片檢測(cè)儀
　　CCD生物芯片掃描儀利用CCD攝像原理的圖象檢測(cè)系統(tǒng)，具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、檢測(cè)速
度快、成本低。主要關(guān)鍵技術(shù)及創(chuàng)新點(diǎn)為：提高CCD接收靈敏度和降低噪聲技術(shù)；提高CCD動(dòng)態(tài)響應(yīng)技術(shù)；多波長激發(fā)光源、聚焦、準(zhǔn)直和濾波技術(shù)；氙燈光源控制技術(shù)；照明均勻性控制技術(shù)；圖象平滑濾波、自適應(yīng)背景確定、樣品斑點(diǎn)識(shí)別、數(shù)據(jù)提取、存貯和顯示技術(shù)。
　　激光共聚焦生物芯片掃描儀采用激光作激發(fā)光源，采用PMT檢測(cè)熒光信號(hào)，因而具有較高的靈敏度，可以完成較大面積的掃描，并且具有很高的分辨率。主要關(guān)鍵技術(shù)及創(chuàng)新點(diǎn)為：不同波長多個(gè)激發(fā)激光器系統(tǒng)應(yīng)用設(shè)計(jì)和光束縮小、定向技術(shù)；激光窄帶濾光片設(shè)計(jì)、鍍膜制備技術(shù)，高靈敏度熒光分子探測(cè)技術(shù)，高精度快速掃描技術(shù)，整機(jī)控制和智能界面操作技術(shù)；數(shù)據(jù)判讀、處理和顯示軟件技術(shù)。
i線深度刻蝕曝光光刻機(jī)
i線深度刻蝕曝光光刻機(jī)在微電子、微光學(xué)、微機(jī)械系統(tǒng)、紅外器件、準(zhǔn)LIGA及聲表面波等器件的研制和生產(chǎn)中都有應(yīng)用前景。該機(jī)在深度光刻中具有突出特色，采用1000W大功率汞燈照明電源系統(tǒng)，采用球氣浮自動(dòng)調(diào)平調(diào)焦技術(shù)及高倍率雙視顯微鏡與CCD圖像對(duì)準(zhǔn)技術(shù)。控制系統(tǒng)采用壓電陶瓷自動(dòng)閉環(huán)精確設(shè)定曝光間隙，自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙，具備接觸和絕對(duì)不接觸曝光方式和定時(shí)、定劑量兩種曝光劑量設(shè)定功能。采用特殊蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)提高光刻分辨率等先進(jìn)技術(shù)。光刻分辨率達(dá)0.8μm-1μm，線條側(cè)壁陡度達(dá)85°，對(duì)深層光刻線條高寬比，孤立線條可達(dá)60：1，等間距線條優(yōu)于20：1。具有分辨力高、套刻準(zhǔn)、線條陡直、線條高寬比大、曝光速度快等特點(diǎn)。
微細(xì)加工前景：
如果進(jìn)入微觀世界，能夠捕獲一個(gè)或多個(gè)單原子，然后讓它們重新排列組合，那么就會(huì)導(dǎo)致物質(zhì)本身發(fā)生某些變化，而這些變化將會(huì)對(duì)未來許多領(lǐng)域，及人類生活產(chǎn)生巨大影響。例如，我們把組成水分子的氫和氧分開，二者都是可以燃燒的。小的分子，只有足球體積的幾億分之一，用機(jī)械方法，幾乎是不可能捉住它，分子又是由原子組成的，操縱一個(gè)原子，就更難了，而光可以做到這一點(diǎn)。一束極細(xì)的激光，產(chǎn)生光子流，其動(dòng)量轉(zhuǎn)移給物體，形成光壓，再通過適當(dāng)?shù)墓鈭?chǎng)分布，可以把那種極小的原子俘獲在一定的位置，并可方便把移動(dòng)它。實(shí)際上這就實(shí)現(xiàn)了對(duì)原子的操作。
控制原子或分子的手段叫光鑷，對(duì)分子原子進(jìn)行切割雕刻使用的是光刀。一種材料通過改變它的分子結(jié)構(gòu)及原子排列取向，進(jìn)而形成新布局，那么，它的性能就會(huì)發(fā)生很大變化，這樣未來我們所制造出來的電子器件，與現(xiàn)在相比，其功能相同，而體積則要小多少萬倍。
    在以后的幾十年，隨著原子尺度加工技術(shù)不斷完善和提高，就會(huì)出現(xiàn)多種單原子器件和新型分子材料，如果把它們用制造機(jī)器人，最小型的就可以爬進(jìn)人的血管，進(jìn)行各種各樣的治療手術(shù)。同樣，用來制造衛(wèi)星，衛(wèi)星的體積，也會(huì)大大減少，到那時(shí)人類可能一次發(fā)射成千上萬顆用于各方面的衛(wèi)星，而到目前為止，人類在以往幾十年間，一共才把幾千顆衛(wèi)星送上天。通過科學(xué)分析和計(jì)算，改變了原子分子結(jié)構(gòu)的新型材料，具有更高的強(qiáng)度，更輕的重量，更好的絕熱和耐高溫性能，在空間領(lǐng)域，用來做太空船的外殼，引擎或其它方面，太空船會(huì)變得更輕、更快，能夠承受更為惡劣的環(huán)境，它會(huì)帶著人類走的更遠(yuǎn)，會(huì)征服更多的星球。在日常生活中，我們所看到的，用激光刻錄的光盤，已經(jīng)可以儲(chǔ)存較多的信息了，但這只是一種新的輸入方式，而光盤本身做為一種材料，容量還是有限的，如增加它的原子分子密度和改變它們?nèi)∠�，那么未來就可以把現(xiàn)在成千上萬強(qiáng)光盤的信息，放進(jìn)象手表大小的空間里。一座大型圖書館全部書籍可容進(jìn)一張光盤內(nèi)，你擁有了這張光盤，就擁有了一座圖書館。
    在生物領(lǐng)域，各種各樣的原子和分子，以它特有的方式組合在一起，由此產(chǎn)生了世界萬物，如果利用光鑷光刀，把生命體的某些原子取出，然后，按照科學(xué)規(guī)律，重新組合，會(huì)出現(xiàn)什么樣的結(jié)果，科學(xué)樂觀的預(yù)測(cè)，這樣就有可能創(chuàng)造出具有生命力的新物質(zhì)，而它的存在形成，與我們常見的動(dòng)物、植物和生物會(huì)有所不同。同樣，利用光刀光鑷，修復(fù)DNA和某些有缺陷的遺傳基因，從而可以克服困擾人類的多種頑癥。
    21世紀(jì)，人類進(jìn)入微觀世界。在原子分子尺度上，對(duì)物質(zhì)進(jìn)行操作和加工，無疑會(huì)展現(xiàn)
出一種相當(dāng)美好的前景，并引起各方面的廣泛重視。
小結(jié)
微細(xì)加工作為精密和超精密加工的一個(gè)分支，在國防和眾多領(lǐng)域都顯示了它本身的重要性，最為我們國家，在這一領(lǐng)域的發(fā)展還存在著嚴(yán)重的不足，要像是我們國家的科技實(shí)力，國防實(shí)力，以及經(jīng)濟(jì)實(shí)力持續(xù)穩(wěn)定健康的發(fā)展，都必須積極的發(fā)展和創(chuàng)新在這一科技領(lǐng)域的技術(shù)，不斷的改善完善技術(shù)工藝，是我們國家在這一科技領(lǐng)域走到世界的前沿。
作為一個(gè)新興行業(yè)，微細(xì)加工和精密超精密加工的發(fā)展前景是無可限量的，只要我們高度重視它的發(fā)展，我們將開創(chuàng)一個(gè)科學(xué)領(lǐng)域的新局面，攀上科技的高峰。