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俄開發(fā)出高效切割微芯片的激光裝置
2012/6/25 3:03:47
新華網(wǎng)莫斯科8月30日電 據(jù)俄羅斯《科學信息》雜志報道,俄研究人員最近開發(fā)出一種激光裝置,可以簡單高效地將藍寶石晶體等切割成厚度不到1微米的薄片。研究人員希望使用該裝置替代目前使用的鉆石刀來切割微芯片。
圣彼得堡研究人員開發(fā)出的激光切 割裝置采用的是微微秒級的超短波低能激光。切割材料時,激光裝置的特殊光學系統(tǒng)將激光聚焦成直徑只有幾微米的激光束。利用這種能量聚集在特定空間和時間內(nèi)的激光,照射諸如藍寶石等材料,可以直接在材料內(nèi)部打出一些緊密相鄰的細小孔眼。這樣被“鉆”空的藍寶石材料可以很容易“掰開”,獲得理想的微芯片。
使用新方法進行的整個切割過程都在電腦控制下自動進行,快速而精確。而且由于激光在藍寶石內(nèi)部打出的孔眼極其細小,因此基本不會造成原始芯片材料的浪費。目前切割微芯片使用的是鉆石刀,由于刀片本身具有一定厚度,導致藍寶石或石英等原始材料被浪費掉許多,整個材料的有效利用率只有四分之一到三分之一。
科學家還介紹說,鉆石刀切割必須在純凈的空氣條件下進行,而新方法可以在普通空氣條件下進行,而且可以帶著包裝一起切割,新方法開辟了一種微芯片加工的新思路。